电子特种气体是特种气体的一个重要分支,是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可或缺的原材料。在整个半导体行业的生产过程中从芯片生产到最后器件的封装几乎每一个环节都离不开电子特气,像光刻、刻蚀、离子注入等,而且所用气体的品种多质量要求高,所以电子特气被誉为半导体的“血液”。
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